第四百二十八章 有点意思的老头(4/4)

,剩下的你们自己去折腾。”

    “爷爷,你是说我们的工厂可以和光刻机生产结合?”

    辛梦真快步走到陈学兵身边,一起看了起来。

    陈学兵摇了摇头,边看边道:“没办法结合,技术溢出太多了,电子代工用不到这么精密的技术。”

    “不过……”他又补充道:“这个报告很专业。”

    报告从B类和C类部件提到了华微电子(辛家工厂)能够抽调的团队,和几个国内有名有姓能做零件替代的零部件厂。

    报告的最终目标是针对尼康KrF248nm干式光刻机中15%的非核心模块进行优化设计,完成首套改进型干式光刻机样机,以“可靠性提升”或“成本降低”为卖点。

    陈学兵很佩服,但也有些失落。

    想了半晌,道:“KrF(氟化氮)是波长248纳米的紫外线,最小线宽只能做到130纳米,这跟主流机型已经是三个代际差,更别说前沿机型了,至少要从ArF(氟化?)起步,我的想法是从193nm干式逐渐进入浸没式,达

    到134nm等效波长,只有这样的机器,晶圆厂才有机会通过补偿和多次曝光达到40nm以下线宽,你能不能让人给我做个ArF光源的报告?"

    光源问题是本质,ArF光源好歹是有价值的,如果从KrF光刻机开始研究,他都不知道有没有技术演进的价值。

    辛廷烨显然是了解过,立即摇头:“你高看我们了,报告上已经讲了,光源是研究不出来的,KrF光源工业化设备都要靠进口,国内绝对做不出来,你没接触过精密生产,做不出来就是做不出来,这个光源要气体纯度、电

    极、镀膜、压缩模块多方面配合,这么多东西,有人带路也要七八年,没人带路十几年也不一定搞得出来,KrF光源制造设备能买,至于你说的ArF,能不能偷偷买到还不好讲,别的不说,这个气体可是消耗品,激光腔一放电就

    要分解,又是管制商品,进口要开证明,比国际上贵几倍,偷运更贵,而且偷运渠道也是人家的销售策略罢了,并不是管控不了,有朝一日人家真的不让你搞了,渠道一断,说停摆就停摆,代价太大。”

    陈学兵沉默下来。

    KrF,ArF干式,ArF浸没式,EUV光刻机。

    现在似乎连第二步都很难搞定。

    但谓难的话他已经不想听了,如果只是更专业的人用更专业的话劝他放弃,他不接受。

    辛廷烨忽地笑了笑,长出了一口气道:“没看出来你还是个有国产情怀的人,光源的事我虽然帮不了你,不过我给你提个意见...我听梦真说你们打算花大价钱聘请一批日本尼康的退休工程师,与其这样,不如集中资源,猎杀

    一个真正的系统级架构师,他可以告诉你,什么能自己造,什么必须买,什么可以绕过。”

    陈学兵眼神一亮:“你有办法?”

    老头歪了歪嘴:“既然敢说,我当然有办法。”